Количество
|
Стоимость
|
||
|
Технологии МЭ. Химическое осаждение из газовой фазы
Под заказ 3 дня
Артикул: 14018ck
Описание
Автор - Киреев В., Столяров A. Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
Для инженеров и студентов радиотехнических и других смежных специальностей.
Автор | Киреев В., Столяров A. |
---|---|
Язык издания | RU |
Категория | Інтегральні мікросхеми, Хімічне осадження, Технологія виробництва |
Количество страниц | 196 |
Качество скана | Удовлетворительное |
Переплет | Мягкий |
Ознакомительный фрагмент | Чтобы ознакомиться с качеством скана, добавьте товар в избранное и напишите нам в телеграмм или в чат поддержки и мы Вам вышлем ссылку |